плазмохимическое осаждение из паровой фазы

плазмохимическое осаждение из паровой фазы

 

плазмохимическое осаждение из паровой фазы
Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении с использованием ВЧ-энергии.

[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • PECVD
  • plasma enhanced chemical vapor deposition


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Смотреть что такое "плазмохимическое осаждение из паровой фазы" в других словарях:

  • плазмохимическое осаждение из паровой фазы — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition)  процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… …   Википедия

  • dépôt plasmachimique en phase vapeur — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • plasma chemical vapor deposition — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • plasmachemische Gasphasenabscheidung — plazmocheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • plazmocheminis garinis nusodinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma chemical vapor deposition vok. plasmachemische Gasphasenabscheidung, f rus. плазмохимическое осаждение из паровой фазы, n pranc. dépôt plasmachimique en phase vapeur, m …   Radioelektronikos terminų žodynas


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»